(anisotropic etching; анизотропное травление) ფუძეშრიდან მასალის ზედაპირული შრის მოცილების მართული პროცესი, რომელიც ვერტიკალური მიმართულებით, ჰორიზონტალურთან შედარებით, უფრო მაღალი სიჩქარით More…
(Bosch etching; Бош-травление, пассивационное травление) ფუძეშრიდან მასალის ზედაპირული შრის მოცილების მართული პროცესი, ამოჭმისა და პასივაციის ციკლის არაერთჯერადი მონაცვლეობით, რაც More…
(electron-beam evaporation; электронно-лучевое испарение) მასალის მიღების პროცესი, რომელიც მდგომარეობს, მაღალი ან ზემაღალი ვაკუუმის პირობებში, ელექტრონების ნაკადის ზემოქმედებით, საწყისი More…
(isotropic etching; изотропное травление) ფუძეშრიდან მასალის ზედაპირული შრის მოცილების მართული პროცესი, რომელიც ერთნაირი სიჩქარით მიმდინარეობს სივრცის ყველა მიმართულებით. More…
(ion induced etching; ионно-стимулированное травление) ობიექტის სტრუქტურის ან რელიეფური გამოსახულების ფორმირების პროცესი, რომლის დროსაც მოცემულ უბნებზე დასამუშავებელი ფუძეშრის დანაფარი More…
(cryogenic etching; криогенное травление) ფუძეშრიდან მასალის ზედაპირული შრის მოცილების მართული პროცესი მისი გაცივებით 163 K ტემპერატურაზე ან ქვემოთ, რომლის დროსაც შესაძლებელია ობიექტის More…
(crystallographic etching; кристаллографическое травление) ფუძეშრიდან მასალის ზედაპირული შრის მოცილების მართული პროცესი, რომელიც სხვადასხვა კრისტალოგრაფიული მიმართულებით სხვადასხვა სიჩქარით More…
(dry-etching; сухое травление) ნაწილობრივ დაიონებული გაზებით ფუძეშრიდან მასალის ზედაპირული შრის მოცილების მართული პროცესი. =ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი More…
(plasma etching; плазменное травление) მშრალი ამოჭმა, აირულ არეში ელექტრული განმუხტვით წარმოქმნილი პლაზმის კომპონენტებით - იონებითა და ელექტრონებით. =ნანომეცნიერებისა და More…
(radiation track etching; травление по трекам излучения) ქიმიური ნივთიერებებით ფუძეშრიდან მასალის ზედაპირული შრის მოცილების მართული პროცესი, რომლის მიზანია, ნაწილაკებით ან მძიმე იონებით More…
(chemical etching; химическое травление) ქიმიური ნივთიერებების მოქმედებით ფუძეშრიდან მასალის ზედაპირული შრის მოცილების მართული პროცესი. =ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა More…
(chemically assisted ion beam etching; химическое ионно-лучевое травление) ქიმიურად აქტიური გაზის იონების კონით ფუძეშრიდან მასალის ზედაპირული შრის მოცილების მართული პროცესი. More…
(selective etching; избирательное травление) ფუძეშრიდან მასალის ზედაპირული შრის მოცილების მართული პროცესი, რომელიც ზედაპირის სხვადასხვა უბანზე სხვადასხვა ქიმიური შედგენილობისას სხვადასხვა More…
ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი
to main page 
top of page