E. phase-contrast photolithographyRus. фазоконтрастная фотолитография ნანოსკალის ზღვრების შესაბამისი ზომებისა და გაუმჯობესებული გარჩევადობის მქონე გამოსახულების მიღების პროცესი, ფუძეშრის დანაფარი ფოტორეზისტის ელექტრომაგნიტური დასხივებითა და შაბლონში (ფოტოშაბლონში) გავლით, რომელსაც გამავალი დასხივების ფაზის დამძვრელი სტრუქტურა აქვს.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022.