ფ. ფა ფე ფი ფლ ფო ფუ ფხ
ფ. ფ./ ფ.;

ფოტოლითოგრაფია DUV/ღრმა ულტრაიისფერ დიაპაზონში

E. deep ultraviolet lithography
Rus. DUV; фотолитография в глубоком ультрафиолете; ФГУ
ფოტორეზისტის შრეში მოცემული შაბლონის ასახვით რელიეფური გამოსახულების ფორმირების პროცესი, ულტრაიისფერი გამოსხივების ტალღის სიგრძის 100-იდან 280 ნმ-ამდე დიაპაზონში.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022.
to main page Top 10FeedbackLogin top of page
© 2008 David A. Mchedlishvili XHTML | CSS Powered by Glossword 1.8.9