E. deep ultraviolet lithographyRus. DUV; фотолитография в глубоком ультрафиолете; ФГУ ფოტორეზისტის შრეში მოცემული შაბლონის ასახვით რელიეფური გამოსახულების ფორმირების პროცესი, ულტრაიისფერი გამოსხივების ტალღის სიგრძის 100-იდან 280 ნმ-ამდე დიაპაზონში.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022.