E. lithography etchinRus. травление в литографии ფოტოლითოგრაფიული პროცესის ეტაპი, რომელიც მოიცავს ფოტორეზისტის თხელი ფირით დაფარული ფუძეშრის დაუსხივებელი უბნებიდან ნეგატიური ან დასხივებული უბნებიდან პოზიტიური ფოტორეზისტის მოცილებას.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022.