E. metalorganic vapour phase epitaxyRus. эпитаксия газофазная 1) ეპიტაქსიის სახესხვაობა - ეპიტაქსიური ნახევარგამტარული შრეების მიღება აირული ფაზიდან დალექვით, ნახევარგამტარული ჰეტეროსტრუქტურების მიღების ერთ - ერთი ნანოტექნოლოგიური მეთოდი; 2) აირული ფაზიდან ქიმიური დალექვის მეთოდის სახესხვაობა, რომლის დროსაც ფორმირდება ეპიტაქსიური ფირები.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022.