E. solid phase epitaxyRus. эпитаксия твердофазная ეპიტაქსიური ფირების (გა)ზრდის მეთოდი, რომელშიც დასაწყისში დაბალ ტემპერატურაზე დაილექება მოუწესრიგებელი (ამორფული) ფირი, რის შემდეგაც ტარდება მისი კრისტალიზაცია უფრო მაღალ ტემპერატურაზე (რომელიც ამ მასალის დნობის წერტილზე დაბალია).
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022.