E. dry-ashingRus. сухое озоление ქიმიური ამოჭმა, აირული ქიმიური ნივთიერებების გამოყენებით, რომლის პროცესშიც ამოჭმას დაქვემდებარებულ არეში მასალა გარდაიქმნება აქროლადად მოსაცილებელ ნაერთად (მაგ., ფუძეშრიდან ფოტორეზისტის შაბლონის მოცილება ჟანგბადის გამოყენებით).
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022