E. anisotropic etchingRus. анизотропное травление ფუძეშრიდან მასალის ზედაპირული შრის მოცილების მართული პროცესი, რომელიც ვერტიკალური მიმართულებით, ჰორიზონტალურთან შედარებით, უფრო მაღალი სიჩქარით მიმდინარეობს.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022