E. focused electron-beam depositionRus. осаждение фокусированным электронным пучком (ОФЭП) ქიმიური დალექვა აირული ფაზიდან (ორთქლიდან), დაფოკუსებული (კონცენტრირებული) ელექტრონების ნაკადის გამოყენებით ფუძეშრის ზედაპირის მოცემულ უბნებზე საწყისი აირისებრი მასალის მოლეკულების დალექვა.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022