focused ion-beam deposition (FIB)
осаждение фокусированным ионным пучком (ОФИП)
ქიმიური დალექვა აირული ფაზიდან, დაფოკუსებული (კონცენტრირებული) იონების ნაკადის გამოყენებით ფუძეშრის ზედაპირის მოცემულ უბნებზე საწყისი აირისებრი მასალის მოლეკულების დალექვა.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022