E. sputter depositionRus. осаждение напылением ფიზიკური დალექვა აირული ფაზიდან (ორთქლიდან) მაღალენერგიული ნაწილაკების წყაროს გამოყენებით, რომელიც საწყის მასალას (სამიზნეს) ბომბავს, მისი (საწყისი მასალის) ატომების ფუძეშრის ზედაპირზე გადასატანად.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022