E. ion induced depositionRus. ионно-стимулированное осаждение ობიექტის სტრუქტურის ან რელიეფური გამოსახულების ფორმირების პროცესი, ფუძეშრის მოცემულ უბნებზე დასალექი მასალის მოლეკულების კონცენტრაციის გაზრდით, დაფოკუსებული იონური კონის დახმარებით.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022