E. focused ion-beam etching; FIBRus. травление фокусированным ионным пучком; ТФИП ფუძეშრიდან მასალის ზედაპირული შრის მოცილების მართული პროცესი, ელექტროსტატიკური ლინზების სისტემით მოცემულ უბანზე დაფოკუსებული იონების ნაკადით.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022.