E. subtractive processingRus. субтрактивная обработка გამოსახულების მიღების პროცესი, რომლის დროსაც ხდება რეზისტის მასალის უბნების შერჩევით მოცილება წინასწარ განსაზღვრული შაბლონის შესაბამისად.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022