E. inductive coupled plasma (ICP)Rus. травление индуктивно связанной плазмой (ТИСП) პლაზმური ამოჭმა ინდუქციურად შეკრული პლაზმის წარმომქმნელი წყაროს გამოყენებით, რომელშიც პლაზმა წარმოქმნება განმუხტვის კამერის, სანთურის ან სხვა რეაქტორის შიგნით, მაღალი სიხშირის ცვლადი მაგნიტური ველის მოდებისას.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022