E. ion induced etchingRus. ионно-стимулированное травление ობიექტის სტრუქტურის ან რელიეფური გამოსახულების ფორმირების პროცესი, რომლის დროსაც მოცემულ უბნებზე დასამუშავებელი ფუძეშრის დანაფარი მასალის მოლეკულების კონცენტრაცია მცირდება დაფოკუსებული იონური კონის დახმარებით.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022