E. ion beam etching; ion beam millingRus. ионно-лучевое травление; ионно-лучевое фрезерование ფუძეშრიდან მასალის ზედაპირული შრის მოცილების მართული პროცესი, პლაზმის წყაროდან მიღებული იონების ნაკადით.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022