ეპიტაქსია / მოლეკულურ-სხივური

მონოკრისტალური ფირის მიღების პროცესი. მაღალი ან ზემაღალი ვაკუუმის პირობებში საწყისი მასალის (მასალების) ატომების ან მოლეკულების აორთქლებისა და შემდგომი დალექვით მონოკრისტალურ ფუძეშრეზე.