E. electron-beam lithographyRus. электронно-лучевая литография დაფოკუსებული ელექტრონული კონით რეზისტის (ფოტორეზისტის) შრეში მოცემული შაბლონის შესატყვისი რელიეფური გამოსახულების აღწარმოების პროცესი.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022