ლ. ლა ლი ლო ლუ
ლ./ ლ.;

ლითოგრაფია/ელექტრონულ-სხივური

E. electron-beam lithography
Rus. электронно-лучевая литография
დაფოკუსებული ელექტრონული კონით რეზისტის (ფოტორეზისტის) შრეში მოცემული შაბლონის შესატყვისი რელიეფური გამოსახულების აღწარმოების პროცესი.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022
to main page Top 10FeedbackLogin top of page
© 2008 David A. Mchedlishvili XHTML | CSS Powered by Glossword 1.8.9