ლ. ლა ლი ლო ლუ
ლ./ ლ.;

ლითოგრაფია/იმერსიულ-ოპტიკური

E. immersion optics
Rus. иммерсионная оптическая литография
ამაღლებული გარჩევადობის ლითოგრაფია, რომელიც მიიღება მიკროსკოპის ობიექტივის უკანასკნელ ლინზასა და ფოტორეზისტის (ფოტორეზისტენტულ) ფირს შორის არსებული ჰაერის შუალედური სივრცის, შესაბამისი გარდატეხის მაჩვენებლის მქონე, სითხით შევსებისას.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022
to main page Top 10FeedbackLogin top of page
© 2008 David A. Mchedlishvili XHTML | CSS Powered by Glossword 1.8.9