E. immersion opticsRus. иммерсионная оптическая литография ამაღლებული გარჩევადობის ლითოგრაფია, რომელიც მიიღება მიკროსკოპის ობიექტივის უკანასკნელ ლინზასა და ფოტორეზისტის (ფოტორეზისტენტულ) ფირს შორის არსებული ჰაერის შუალედური სივრცის, შესაბამისი გარდატეხის მაჩვენებლის მქონე, სითხით შევსებისას.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022