E. interference lithographyRus. интерференционная литография ნანოსკალის ინტერვალის შესატყვისი ზომების რელიეფური გამოსახულების ფორმირების პროცესი, დასხივებული რეზისტის შესაბამისი დამუშავებით, რომლის ზედაპირზეც დიფრაქციული მესრების დახმარებით ინტერფერენციული სურათი მიიღება.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022.