ლ. ლა ლი ლო ლუ
ლ./ ლ.;

ლითოგრაფია/იონურ-პროექციული

E. ion projection lithography
Rus. ионно-проекционная литография
აჩქარებული იონური კონით რეზისტის შრეში მოცემული შაბლონის შესაბამისი ნანოსკალის ინტერვალის შესატყვისი ზომების რელიეფური გამოსახულების მიღების პროცესი.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022.
to main page Top 10FeedbackLogin top of page
© 2008 David A. Mchedlishvili XHTML | CSS Powered by Glossword 1.8.9