E. ion projection lithographyRus. ионно-проекционная литография აჩქარებული იონური კონით რეზისტის შრეში მოცემული შაბლონის შესაბამისი ნანოსკალის ინტერვალის შესატყვისი ზომების რელიეფური გამოსახულების მიღების პროცესი.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022.