E. focused ion-beam lithography; FIBRus. ионно-лучевая литография დაფოკუსებული იონური კონით რეზისტის შრეში მოცემული შაბლონის შესატყვისი რელიეფური გამოსახულების აღწარმოების პროცესი.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022.