E. plasma etchingRus. плазменное травление მშრალი ამოჭმა, აირულ არეში ელექტრული განმუხტვით წარმოქმნილი პლაზმის კომპონენტებით - იონებითა და ელექტრონებით.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022