ლექსიკონებიTop 10 Feedback Loginნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი
ა ბ გ დ ე ვ ზ თ ი კ ლ მ ნ ო პ ჟ რ ს ტ უ ფ ქ შ ჩ ც ძ წ ხ ჰ
ა. აბ აგ ად აე ალ ამ ან აო არ ას ატ აფ აქ აღ აწ
ა. ა./ ა.;
Suggest a term Print version

ამოჭმა RIE/რეაქტიული იონური

reactive ion etching (RIE)
реактивное ионное травление (РИТ)
პლაზმური ამოჭმა პლაზმის დამუხტული იონების ნაკადით, აჩქარებული ძაბვის უარყოფითი პოტენციალით (რეაქტორის იზოლირებულ კედლებთან შეფარდებით), რომელიც წარმოიშვება მაღალი სიხშირის ძაბვის მიწოდებისას იმ ელექტროდზე, რომელზეც განთავსებულია ფუძეშრე.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022
to main page Top 10 • Feedback • Login top of page
© 2008 David A. Mchedlishvili XHTML | CSS Powered by Glossword 1.8.9