ლექსიკონებიTop 10 Feedback Loginნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი
ა ბ გ დ ე ვ ზ თ ი კ ლ მ ნ ო პ ჟ რ ს ტ უ ფ ქ შ ჩ ც ძ წ ხ ჰ
ა. აბ აგ ად აე ალ ამ ან აო არ ას ატ აფ აქ აღ აწ
ა. ა./ ა.;
Suggest a term Print version

ამოჭმა DRIE/რეაქტიული იონური ღრმა

E. deep reactive ion etching (DRIE)
Rus. глубокое реактивное ионное травление (ГРИТ)
ანიზოტროპიული ამოჭმის პროცესი, რომელიც გამოიყენება ფუძეშრეზე ისეთი სტრუქტურების მისაღებად, რომელთა ელემენტებს ექნებათ გეომეტრიული ზომების წინასწარ დასახული თანაფარდობები (მაგ., ნახვრეტები და ღარაკები ვერტიკალური კედლებით.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022
to main page Top 10 • Feedback • Login top of page
© 2008 David A. Mchedlishvili XHTML | CSS Powered by Glossword 1.8.9