E. physical etching; sputter etchingRus. физическое травление; травление распылением ფუძეშრიდან მასალის ზედაპირული შრის მოცილების მართული პროცესი, გაფრქვეული ინერტული აირის (მაგალითად, არგონის) იონების კინეტიკური ენერგიის მოქმედებით.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022