chemically assisted ion beam etching
химическое ионно-лучевое травление
ქიმიურად აქტიური გაზის იონების კონით ფუძეშრიდან მასალის ზედაპირული შრის მოცილების მართული პროცესი.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022