E. nano-electromechariical systems; NEMSRus. наноэлектромеханическая система; НЭМС ნანომოწყობილობა ერთი ან რამდენიმე ელექტრონული და არაელექტრონული კომპონენტით, რომელთა კომბინირებული ელექტრული და მექანიკური თვისებები უზრუნველყოფს მოწყობილობის მიერ მოცემული ფუნქციის შესრულებას.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022.