E. photolithography; optical lithographyRus. фотолитография R оптическая литография ფუძეშრეზე გამოსახულების მიღების პროცესი, ფუძეშრის დანაფარ ფოტორეზისტზე, წინასწარგანსაზღვრული შაბლონის გავლით, ელექტრომაგნიტური გამოსხივების დასხივებით. შენიშვნა: როგორც წესი, შაბლონი მზადდება ფოტორეზისტის მასალისგან.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022.