ლექსიკონებიTop 10 Feedback Loginნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი
ა ბ გ დ ე ვ ზ თ ი კ ლ მ ნ ო პ ჟ რ ს ტ უ ფ ქ შ ჩ ც ძ წ ხ ჰ
ფ. ფა ფე ფი ფლ ფო ფუ ფხ
ფ. ფ./ ფ.;
Suggest a term Print version

ფოტოლითოგრაფია EUV/ექსტემალური ულტრაიისფერი

E. extreme uItraviolet lithography; EUV
Rus. фотолитография в экстремальном ультрафиолете; ФЭУ
მოცემული შაბლონის აღწარმოებით ფოტორეზისტის შრეში რელიეფური გამოსახულების ფორმირების პროცესი ულტრაიისფერი გამოსხივების 10 - 20 ნმ-ამდე ტალღის სიგრძის დიაპაზონში.
Source: ნანომეცნიერებისა და ნანოტექნოლოგიების ტერმინთა განმარტებითი ლექსიკონი: ქართულ-ინგლისურ-რუსული/ომარ შურაძე. საქართველოს პარლამენტის ეროვნული ბიბლიოთეკა. თბილისი 2022.
to main page Top 10 • Feedback • Login top of page
© 2008 David A. Mchedlishvili XHTML | CSS Powered by Glossword 1.8.9